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　　超純水初是美國科技界為了研制超純材料(半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等)應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當的超臨界精細技術生產出來的水，如今超純水已在生物、醫藥、汽車等領域廣泛應用。這種水中除了水分子(H20)外，幾乎沒有什么雜質，更沒有細菌、病毒、含氯二惡英等有機物，當然也沒有人體所需的礦物質微量元素，超純水無硬度，口感較甜，又常稱為軟水，可直接飲用，也可煮沸飲用。超純水,是一般工藝很難達到的程度，如水的電阻率大于18MΩ*cm，接近于18.3MΩ*cm則稱為超純水。

　　超純水系統是指系統從原水至超純水完整產生的生產系統。一般超純水系統是經由多重過濾，離子交換，除氣，逆滲透，紫外線，超濾，納米率，離子吸附過濾所產生的超純水。

　　超純水系統的工藝流程：

　　1、預處理-反滲透-純化水箱-離子交換器-紫外燈-純水泵-用水點

　　2、預處理-一級反滲透-二級反滲透(正電荷反滲膜)-純化水箱-純水泵-紫外燈-用水點

　　3、預處理-反滲透-中間水箱-中間水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外燈-用水點

　　4、預處理→紫外線殺菌裝置→一級RO裝置→二:RO裝置→中間水箱→EDI裝置→脫氧裝置→氮封純水箱→除TOCUV裝置→拋光混床→超濾裝置→用水點

　　超純水系統根據不同的源水水質采用不同的工藝。一般自來水經一級反滲透系統處理后，產水電導率<10-20μS/cm，經二級反滲透系統后產水電導率<5μS/cm甚至更低，在反滲透系統后輔以離子交換設備或EDI設備可以制備超純水，使電阻率高達18兆歐姆.厘米)。反滲透膜老化或受污染后，產水質量會下降。